作為磨料的氧化鋁顆粒,其粒度大小、形狀、粒度分布都會(huì)影響拋光效果。在粒度大小上,α-氧化鋁粉末的一次粒徑(原晶大?。┡c表面拋光效果有直接關(guān)系,細(xì)且均勻的粒子不僅本身更利于獲得優(yōu)秀的表面質(zhì)量,同時(shí)由于具有更強(qiáng)的體積效應(yīng),在拋光時(shí)更不易被壓碎,產(chǎn)生邊緣鋒利的二次粒子,對(duì)工件表面造成破壞。因此超細(xì)球形氧化鋁粉理論上可以使工件達(dá)到較高的平整度,滿(mǎn)足精拋的需求。而在形貌上,球形氧化鋁不僅帶來(lái)了更好的分散性和流動(dòng)性,緩解超細(xì)粉體較高表面能帶來(lái)的團(tuán)聚堆積現(xiàn)象,從而能被均勻分布在被拋光產(chǎn)品中,而且表面光滑無(wú)棱角的顆粒形貌,也可以避免對(duì)工件表面的造成細(xì)微劃傷,從而進(jìn)一步提高拋光表面的光潔度。目前高純、亞微米級(jí)球形氧化鋁粉常被制備高級(jí)化學(xué)機(jī)械拋光液,用于精密光學(xué)器件、石英晶體和半導(dǎo)體單晶等高精尖產(chǎn)品的加工。
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